YAMARI - For Semiconductor - Thiết Bị Công Nghiệp NTD- NTD Automation

YAMARI - For Semiconductor

Posted by : Hien Tran Thứ Sáu, 22 tháng 6, 2018

For Semiconductor

　　■ Profile Thermocuples cho các hệ thống khuếch tán

　- Tính năng -

　　　　 ◆ Độ chính xác
　　　　　Class2 (Loại 1 cũng có sẵn như là một tùy chọn.)　　　　　
　　　　　Giấy chứng nhận hiệu chuẩn sẽ được cấp ở phạm vi nhiệt độ và khoảng thời gian được yêu cầu.

　　　◆　Tính ổn định　　
　　　　　Vật liệu xây dựng và vật liệu làm tăng tính ổn định sẽ được áp dụng.
　　　　　Ví dụ ・ Ống cách điện dài hơn có khả năng làm giảm sự bay hơi của nguyên tố rhodi
　　　　　　・ Ống cách điện nhôm có chứa các tạp chất sắt thấp
　　　　　　・ Ống bảo vệ thạch anh chứa ống bảo vệ silicon carbide có độ kiềm thấp hoặc độ tinh khiết cao
　　　　　　　.

　　　◆ Độ　sạch
　　　　　Các cặp nhiệt điện hồ sơ phải được lắp ráp trong phòng sạch (Độ sạch: Lớp 5)

　　　◆　Ứng dụng
　　　　　Ngoài cấu trúc cơ bản, các phương pháp kết nối khác nhau như kết nối với
　　　　　dây dẫn cũng được áp dụng.

　　■ Cảm biến Wafer

Cảm biến wafer này được phát triển để tái tạo chính xác cấu hình nhiệt độ của tấm silicon trong thiết bị chế biến wafer. Giờ đây, người dùng đã thách thức chúng tôi cải thiện chất lượng của mình bằng cách đạt được độ lặp lại 0,1 ℃.

....